臭氧是一種氧化性很強的氣體。具有消毒、除臭、降解有機物、脫色、漂白、去除水中苯酚、氰化物等污染物的作用。廣泛應用于污水處理、廢氣處理、煙氣脫硝、空氣凈化等領域。污水處理用臭氧發生器由氣源系統、冷卻系統、供電系統、臭氧發生系統等組成，在工業廢水處理工程中，臭氧氧化工藝常作為一個操作單元與常規污水處理工藝相連。其目的是對廢水進行審核和處理，使其部分出水水質達到國家排放標準，部分出水水質得到改善，使其回用于生產用水系統。
廢水處理臭氧氧化法：臭氧發生器產生的臭氧如何被水有效吸收是臭氧氧化法處理廢水的關鍵問題。臭氧水接觸反應系統是將臭氧投加到廢水中，與廢水中的有機物、細菌和金屬離子進行化學反應、消毒和生化反應的過程。
臭氧氧化工藝用于污水處理臭氧氧化技術具有以下特點：
（1） 臭氧不僅具有良好的快速殺菌消毒性能，而且對有機物和無機物具有很高的氧化能力。它可以去除其他水處理工藝難以去除的物質。
（2） 臭氧反應完全，反應速度快，可以減少結構的體積。
（3） 剩余的臭氧將迅速轉化為氧氣，增加水中溶解氧，效率高，無污泥，無二次污染。
（4） 它能去除異味，提高凈化效果，殺菌消毒。
（5） 用于臭氧制備的電和空氣不需要儲存和運輸。臭氧裝置占地面積小，操作管理簡單。特別適用于改善原水廠的水質和水量。
臭氧發生器產生的臭氧通過空氣-水接觸設備擴散到待處理水中，通常采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等，臭氧利用率應在90％以上，剩余臭氧隨尾氣排放。為避免空氣污染，可采用活性炭或hogart試劑催化分解尾氣，或采用催化燃燒法分解臭氧。
臭氧與生物降解相結合可以減少臭氧的消耗，降低成本。臭氧部分移植到生物降解的多級系統中（生物降解前必須有臭氧氧化，有時生物降解后再加入臭氧-生物-臭氧系統）
常用的容器是配有擴散管或文丘里管的鼓泡塔反應器。它們大多以逆流方式工作。許多反應器的操作壓力往往很高，可以加快傳質速率，提高整個過程的效率。